ＭＥＭＳエンコーダ開発

第２８回神奈川工業技術開発大賞奨励賞受賞

超小型・高精度・高分解能インクリメンタルエンコーダ

光ＭＥＭＳ技術により長寿命半導体レーザ、フォトダイオードなどの光学素子をハイブリッド集積し、超小型（2.8mm角×高さ1mm）・高精度・高分解能を実現したＭＥＭＳエンコーダを開発中です。
ＭＥＭＳエンコーダをロータリまたはリニアで使用することにより超小型で超高分解能、高精度のエンコーダを可能とします。